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膜厚測試機構:測試膜厚有哪些方法?
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2024-11-28 17:29
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膜厚測試機構:測試膜厚有哪些方法?
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,描電子显微镜(SEM)技能,以其超宽的測試范畴(0.01微米至1毫米),不管是金属仍是非金属膜层,都能遊刃有余地举行切确丈量。搭配能谱附件(EDS),更能揭露膜层的化學成份,為質料阐發供给周全視角。
三、荧光測厚度法,依靠X射線荧光技能,非接触式地探測金属膜层厚度,實現了無损檢測的新高度,特别合用于纳米级至微米级厚度的切确丈量,為薄膜科學的钻研供给了有力支撑。
四、台阶測厚法子,操纵台阶儀的紧密丈量能力,针對膜层與基材間存在较着台阶的样品,實現0.1微米至10微米范畴内的切确丈量,虽然對样品请求较高,但其在特定前提下的利用無可替換。
膜厚測試機構参考尺度:
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,
GB/T 13452.2-1992 色漆和清漆 漆膜厚度的測定
CNS 8406-1989 铝及铝合金之阳极氧化膜厚度實驗法
YS/T 839-2012 硅衬底上绝缘體薄膜厚度及折射率的椭圆偏振測試法
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,子
GB/T 13452.2-2008 色漆和清漆.漆膜厚度的測定
SH/T 0105-1992 溶剂稀释型防锈油油膜
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,厚度測定法
GB/
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,T 8014.3-2005 铝及铝合金阳极氧化 氧化膜厚度的丈量法子 第3部門;分光束显微镜法
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